半导体工厂
如何在不影响生产的前提下，保障工厂动力设备稳定运行？
DHMSCare 监测晶圆厂与封测厂依赖的动力设备——工艺冷却水泵、罗茨真空干泵与晶圆真空泵、排风与洗涤塔风机、压缩干燥空气与氮气系统的冷机与空压机、纯水泵。
无线振动与温度传感器安装在电机与轴承座上，每台设备与自身基线比较，在动力系统故障影响洁净环境之前标出早期磨损。
行业痛点
风机、泵、冷机与空压机连续运转，任何一台故障都会影响洁净环境与生产排程。
泵与电机的轴承磨损发展缓慢，等到可听可感时，设备已接近故障。
动力系统跳机可能让产线停摆，晶圆厂与封测厂恢复生产耗时且扰动环境。
晶圆厂与封测厂接近连续运转，检修必须围绕生产计划安排，团队需要尽早而具体的信号。
量化价值
监测方案
重点监测晶圆厂与封测厂动力设备的轴承与电机：工艺冷却水泵、罗茨真空干泵与晶圆真空泵、排风与洗涤塔风机、CDA 与氮气系统冷机与空压机、纯水泵。
灵瞳平台
依托 DHMSCare，通过 AI 算法识别早期故障特征，如齿轮磨损、轴承异常等，完成健康评估，输出维护建议。
建议点位与套餐
一条典型产线需要什么，开口沟通前就能看清整套方案。
| 设备 | 建议传感器数 | 测点位置（轴承座） |
|---|---|---|
| 工艺冷却水泵 | 2 | 电机两端轴承 |
| 罗茨真空干泵 | 3 | 电机与泵体轴承座 |
| 排风风机 | 2 | 电机轴承座 |
| 冷机 / CDA 与氮气空压机 | 3 | 电机与压缩机轴承座 |
| 洗涤塔风机 | 2 | 电机轴承座 |
| 纯水泵 | 2 | 电机两端轴承 |
| 晶圆真空泵 | 2 | 电机与泵体轴承座 |
实际数量按现场而定
尊享版
第一个带 AI 故障诊断的档位；本页成效正来自 AI 识别齿轮磨损与轴承异常。
需要更多时选智享版： 自动诊断不限次数、小瞳 Ultra 剩余寿命预测、数据保留 24 个月。
中小企业 可从无忧版起步：含 AI 状态监测与日报、10 个账号；需要 AI 故障诊断时再升级到尊享版。
从一条产线开始
从最小规模起步，再逐线扩展或整厂部署。
先把最怕停的几台关键设备看住。小瞳每天巡检、提前预警，告诉你先修哪台。
配置：DT310 × 10（设备有罩壳或遮挡时改为 DT310 × 5 + DT311 × 5 外置天线）· DMG310 × 1 · 推荐尊享版（只要状态监测、预算有限可选无忧版）
查看方案 →常见问题
我们是中小企业，适合吗？
适合。可以从一条产线、一台网关起步，按传感器按年订阅，默认推荐尊享版；只需状态监测时可选无忧版。
一条产线试点要多久？
安装按快速安装指南的七个步骤完成：创建设备、安装网关、粘贴传感器、绑定测点。试点周期按产线规模与您商定。
没有专职振动工程师行不行？
可以。AI 识别早期故障特征、完成健康评估并输出维护建议；小瞳会告诉您先处理哪台设备、原因是什么。
传感器会接触工艺介质吗？
不会。无线振动与温度传感器安装在电机与轴承座外部，通过 DMG310 网关传输数据，不接触工艺介质。
晶圆厂与封测厂开始监测需要什么？
一台 DMG310 网关和首批动力设备（泵或风机）上的传感器。安装按快速安装指南进行：创建设备、安装网关、贴装传感器并绑定测点。
告诉我们产线和关键设备，我们和您一起确定传感器数量与方案。