
通富微电子股份有限公司位于江苏南通,从事集成电路的封装与测试服务。
封测车间对动力设备的可靠性要求很高,泵组故障会连带影响生产环境。
磁力泵的早期磨损,巡检很难提前发现。


每台磁力泵(750 W、3450 rpm)在电机输出端与泵体输出端各设一个测点,每台罗茨真空泵(7.5 kW、2920 rpm)在电机驱动端、泵体输入端与泵体输出端各设一个测点,振动与温度同步采集。
监测期间,一台磁力泵的泵体表面温度由平均 50 ℃ 升至 57 ℃,振动烈度较基线增幅 40%,两项指标持续上升,触发趋势预警。
客户将该泵纳入重点跟踪,并在检修期间完成维护;根因确认为工艺副产物沉积,导致转子动平衡破坏、摩擦增大。
罗茨真空泵各测点的振动与温度始终处于正常范围,未出现异常报警,产线连续运行。
泵与电机等动力设备的振动数据按固定周期采集,在平台上与自身基线比较,变化被确认时发出预警。
每台设备的振动趋势与诊断结论在平台上随设备归档,检修交接不再依赖纸面记录。